銅片四探針電阻率測試儀
型 號BEST-300C
更新時(shí)間2024-05-13
廠(chǎng)商性質(zhì)生產(chǎn)廠(chǎng)家
報價(jià)20000
產(chǎn)品概述
銅片四探針電阻率測試儀由于電阻率受溫度影響,一般測試適用溫度為23℃±1 ℃.
對于厚度對測試的影響,仲裁測量要求厚度按本方法的6.3規定測量,一般測量用戶(hù)可以根據實(shí)
際需要確定厚度的要求偏差。由于探針壓力對測量結果有影響,測量時(shí)應選擇合適的探針壓力。仲裁測量時(shí)選擇探針間距為1.59mm,非仲裁測量可選擇其他探針間距。
方法提要直排四探針測量示意圖測量?jì)x器探針裝置由以下幾部分組成。1探針用鎢,碳化鎢或高速鋼等金屬制成,針尖呈圓錐型,夾角為45°~150*,初始標稱(chēng)半徑為25 μm~50 μm。
5.1.2探針壓力,每根探針壓力為1.75 N士0.25 N或4.0N±0.5N,分別用于硅單晶棒的電阻率測
量,也可選擇其他合適的探針壓力。絕緣性,一探針(包括連接彈簧和外部引線(xiàn))與任何其他探針或裝置任一部分之間絕緣電阻大于
10’Ω.4探針排列和間距,四根探針的應成等間距直線(xiàn)排列。仲裁測量時(shí),探針間距(相鄰探針之間
的距離)標稱(chēng)值應為1.59mm。其他標稱(chēng)間距如1.00mm和0.6mm用于非仲裁測量,探針間距按7.2測定。探針架,能在針尖幾乎無(wú)橫向移動(dòng)的情況下使探針下降到試樣表面.
技術(shù)參數及功能介紹
| 規格型號 | BEST-300C |
| 1.方塊電阻范圍 | 10-5～2×105Ω/□ |
| 2.電阻率范圍 | 10-6～2×106Ω-cm |
| 3.測試電流范圍 | 0.1μA,1μA,10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA |
| 4.電流精度 | ±0.1%讀數 |
| 5.電阻精度 | ≤0.3% |
| 6.顯示讀數 | 大屏液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率 |
| 7.測試方式 | 雙電測量 |
| 8.工作電源 | 輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗：<30W |
| 9.整機不確定性誤差 | ≤3%（標準樣片結果） |
| 10.選購功能 | 選購1.pc軟件； 選購2.方形探頭； 選購3.直線(xiàn)形探頭； 選購4.測試平臺 |
銅片四探針電阻率測試儀如果不是采用直接測量電阻儀器,則讓電流在正向,調節電流大小到近似表2推薦圓片的測量電流值,測量正向電流時(shí)標準電阻兩端的電勢差V,或直接測量流過(guò)模擬電路的正向電流1,再測量正向電流時(shí)模擬電路的電勢差Va。將電流換向,測量反向電流時(shí)標準電阻兩端的電勢差V„或模擬電路的反向電流I„和反向電流時(shí)模擬電路的電勢差V„。繼續改變極性重復進(jìn)行測量,記錄5次每一極性的測量值。
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